Спектральный магнитоэллипсометрический комплекс

Используется для оптической диагностики различных пленочных материалов

Спектральный магнитоэллипсометрический комплекс

Изготовители:

  • Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН
  • Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН

Назначение и технические характеристики

В установке реализовано новое направление оптической диагностики различных пленочных материалов, включая тонкие и многослойные покрытия, пленки и адсорбционные слои, в сочетании с магнитным полем: «магнитоэллипсометрия». Помимо традиционных оптических констант и толщин тонких пленок, методика позволяет получить информацию о магнитном состоянии исследуемых объектов, причем и получение образцов и измерение делаются в сверхвысоком вакууме in situ.

Основные параметры установки:

  • Источник света – галогенная лампа
  • Спектральный диапазон, нм – 350 - 850 nm
  • Время измерения на одной длине волны – 1 мс; полный спектр – 8–20 с
  • Диаметр светового пучка – 3 мм
  • Угол падения света, фиксированно – 56°
  • Воспроизводимость –dψ = 0.02°, dΔ= 0.05°
  • Максимальная величина напряженности магнитного поля – 4200 кЭ
  • Предельный вакуум – 10–8 Па
  • Количество испарителей – 1