Сканирующий электронный микроскоп S5500

Сканирующий электронный микроскоп S5500 использует in-lens технологию для получения как сверхвысокого разрешения, так высокой чувствительности EDS анализа

Сканирующий электронный микроскоп S5500 (Hitachi, Япония)

Структура инвертированного опала
Структура инвертированного опала. Изображение получено Немцевым И.В. с использованием сканирующего электронного микроскопа S5500. Образец изготовлен Шабановой О.В.

Сканирующий электронный микроскоп S5500

Сканирующий электронный микроскоп S5500 использует in-lens технологию для получения как сверхвысокого разрешения, так высокой чувствительности EDS анализа. Электронная пушка – полевая эмиссия с холодным катодом, ускоряющее напряжение – 5-30 кВ. Микроскоп оборудован EDS спектрометром, позволяет проводить рентгено- флуоресцентный анализ и картирование образца. Разрешение во вторичных электронах:

  • 0,4 нм при 30 кВ Высота образца 1 мм;
  • 1,6 нм при 1 кВ Высота образца 2 мм.


Система сфокусированного ионного пучка
FB-2100

Система сфокусированного ионного пучка FB-2100 используется для быстрой и прецизионной подготовки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии.

  • Травление и резка образца с микрометровой точностью;
  • Ионы Ga (Uacc=10-40 кВ, скорость травления в 4 раза выше чем у аналогов);
  • Сканирующий Ионный Микроскоп (SIM) с разрешением = 6нм;
  • Возможность осаждения С и W;
  • Держатель для образцов совместимый с микроскопами Hitachi;
  • Уникальная система для отбора микропроб из образца