Сканирующий электронный микроскоп S5500

Сканирующий электронный микроскоп S5500 (Hitachi, Япония)

Структура инвертированного опала. Изображение получено Немцевым И.В. с использованием сканирующего электронного микроскопа S5500. Образец изготовлен Шабановой О.В.

Сканирующий электронный микроскоп S5500 использует in-lens технологию для получения как сверхвысокого разрешения, так высокой чувствительности EDS анализа. Электронная пушка – полевая эмиссия с холодным катодом, ускоряющее напряжение – 5-30 кВ. Микроскоп оборудован EDS спектрометром, позволяет проводить рентгено- флуоресцентный анализ и картирование образца. Разрешение во вторичных электронах:

• 0,4 нм при 30 кВ Высота образца 1 мм;
• 1,6 нм при 1 кВ Высота образца 2 мм.

Система сфокусированного ионного пучка FB-2100 используется для быстрой и прецизионной подготовки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии.

• Травление и резка образца с микрометровой точностью;
• Ионы Ga (Uacc=10-40 кВ, скорость травления в 4 раза выше чем у аналогов);
• Сканирующий Ионный Микроскоп (SIM) с разрешением = 6нм;
• Возможность осаждения С и W;
• Держатель для образцов совместимый с микроскопами Hitachi;
• Уникальная система для отбора микропроб из образца