Система высоковакуумного магнетронного напыления плёнок 01НИ–7–006 «Оратория 5»

Назначение и технические характеристики

Фирма-изготовитель: Калининградский машиностроительный завод ПО «КВАРЦ»

Система высоковакуумного магнетронного напыления предназначена для получения тонких металлических магнитных пленок и структур. После проведенной реконструкции она содержит четыре магнетрона с мишенями. Откачка напылительной камеры осуществляется диффузионным масляным насосом со скоростью 1000 литров в секунду. Откачка камеры загрузки осуществляется пластинчато-роторным масляным насосом со скоростью 18 литров в секунду.

В комплект установки входят три генератора постоянного тока мощностью по 500 Вт и генератор высокой частоты мощностью 1 кВт. Предельный вакуум системы 5x10^-7 мм. рт. столба.

Нагрев подложек с вращением 9,8 об/мин обеспечивается кварцевыми галогеновыми лампами. Рабочим газом является высокочистый аргон.