Сверхвысоковакуумная система магнетронного напыления

Система магнетронного напыления представляет собой двухкамерную конструкцию, состоящую из напылительной камеры и камеры загрузки. В состав напылительной камеры входят четыре магнетронных источника.

Сверхвысоковакуумная система магнетронного напыления с тремя мишенями

Назначение и технические характеристики

Система магнетронного напыления представляет собой двухкамерную конструкцию, состоящую из напылительной камеры и камеры загрузки. В состав напылительной камеры входят четыре магнетронных источника.

Откачка напылительной камеры осуществляется турбомолекулярным насосом со скоростью 500 литров в секунду, спиральным и титаново-сублимационным насосами. Откачка камеры загрузки осуществляется турбомолекулярным насосом 60 литров в секунду и спиральным насосом. В комплект входят три генератора постоянного тока мощностью 500 Вт и в/ч генератор 300 Вт.

Нагреватель подложек с возможностью автоматизированного вращения (0–20 об./мин.) обеспечивает нагрев до 600°С. SHQ-15 PID контролер обеспечивает температурную стабильность ±1°С. В комплект также входит генератор 100 Вт для подачи на подложку в/ч напряжения.

Установка оснащена:

  • Квадрупольным масс-анализатором MICROVISION (1–200 amu):
    • разрешение < 5%,
    • рабочее давление 10 –10 мбар.;
  • Системой определения толщины плёнок в процессе роста:
    • точность измерения толщины плёнок 1 ,
    • частота отсчёта толщины/скорости плёнок 4 ГГц,
    • временное разрешение 0,1 /с,
    • точность ±0,5 % толщины,
    • возможность сохранения в памяти информации о девяти материалах.