Быстродействующий спектральный эллипсометр «Эллипс-1891»
Изготовитель: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Назначение и технические характеристики
Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких. В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмыс читывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование новой измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением. С использованием эллипсометра определены составы силицидов железа на границе раздела Si/Fe при разных температурах кремниевой подложки.
Основные параметры установки:
- Источник света – ксеноновая лампа высокого давления
- Спектральный диапазон – 250–900 нм
- Время измерения на одной длине волны – 1 мс, полный спектр – 8–30 сек
- Диаметр светового пучка – 3 мм
- Диапазон углов падения света,фиксировано – 45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°
- Предметный столик ручное перемещение – 25 мм по осям X, Y, вертикальное перемещение – 0–20 мм
- Регулировка наклона плоскости предметов – 2°
- Воспроизводимость – dψ= 0.02°, dΔ=0.05°