Быстродействующий спектральный эллипсометр «Эллипс-1891»

Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов

Быстродействующий спектральный эллипсометр «Эллипс-1891»

Изготовитель: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН

Назначение и технические характеристики

Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких. В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмыс читывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование новой измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением. С использованием эллипсометра определены составы силицидов железа на границе раздела Si/Fe при разных температурах кремниевой подложки.

Основные параметры установки:

  • Источник света – ксеноновая лампа высокого давления
  • Спектральный диапазон – 250–900 нм
  • Время измерения на одной длине волны – 1 мс, полный спектр – 8–30 сек
  • Диаметр светового пучка – 3 мм
  • Диапазон углов падения света,фиксировано – 45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°
  • Предметный столик ручное перемещение – 25 мм по осям X, Y, вертикальное перемещение – 0–20 мм
  • Регулировка наклона плоскости предметов – 2°
  • Воспроизводимость – dψ= 0.02°, dΔ=0.05°