Автоматизированный координатограф

Установка успешно заменяет фотолитографию при изготовлении микрополосковых схем. Значительно ускоряет и удешевляет процесс макетирования СВЧ устройств

ac.jpg

Координатограф позволяет полностью заменить фотолитографию при изготовлении микрополосковых СВЧ структур в случаях, когда не требуется слишком высокого разрешения. При этом качество проводников практически не отличается от полученных фотолитографией, в то время как при их изготовлении на микрофрезерных станках края проводников получаются «рваные», что существенно снижает добротность линий.

Назначение и технические характеристики

Габариты 270х270х250 мм

Рабочее поле 60х60 мм

Точность, не хуже 18 мкм

Прибор значительно сокращает время изготовления микрополосковых структур и полосковых структур на подвешенной подложке и удешевляет их производство в мелких сериях. С его помощью можно также изготавливать электроды для исследования эффекта Холла и встречноштыревые структуры для возбуждения и приема поверхностных акустических и магнитостатических волн.

Координатограф может использоваться на предприятиях, в научно-исследовательских институтах и учебных заведениях радиофизического и радиотехнического профиля. Внастоящее время эти установки успешно эксплуатируются в НПП «Радий» (г. Москва), ЗАО «СКАРД Электроникс» (г. Курск), НПФ «Фаза» (г. Красноярск), на кафедре радиоэлектроники ТГУ (г. Томск) и в ТУСУРе (г. Томск).